无油压缩空气在集成电路制造中的重要性

说起半导体这个词，熟悉又陌生，上世纪80年代，人们将收音机称为“半导体”，因为收音机里的很多电子元件是由半导体材料制造而成。那么“半导体”到底是什么呢？

通常来说，半导体是一种材料，硅是其中最主要的元素，还包括锗、砷化镓、碳化硅等。

将半导体材料经过一系列的工艺加工制成集成电路，继而被用在各式我们熟知的电子设备上。几乎所有电子设备都需要半导体，随着人们在衣食住行上使用的工具越来越智能化，电子设备的生产呈指数级增长，半导体制造业飞速发展，而在半导体生产中有着极为关键作用的压缩空气被大量需要。

集成电路是电子设备中极为精密的部分，一粒微小的灰尘或将造成整个电路的失效。因此其生产过程需要高度专业的技术和严苛洁净的环境。使用0级无油的压缩空气，不仅是封闭生产环境的高纯度保证，也将促进生产力提升，减少因污染而造成的生产损失。

半导体制造业通用用气品质要求如下：

1.含油要求 0.00ppm

2.含尘要求 0.01μm

3.露点要求 -40℃至-70­°C（PDP）

4.排气压力 0.8-0.85MPa

主要用气点如下：

1、仪表用气

气动元件、精密仪表

2、空分用气

工艺保护用气（制氮机）

3、工艺用气

吹扫、清洗、冷却、划片、外延、刻蚀与沉积、离子注入

分选、测试、封装、装配、包装、运输和搬运、污水处理

英格索兰为电子行业的半导体生产线提供了无油压缩空气系统及整体解决方案，其中包括：

1.无油螺杆空压机（定频/变频）

2.离心式空压机

3.过滤器、鼓风加热再生吸附式干燥机、压缩热再生吸附式干燥机等后处理产品

4.控制系统、热回收、储气罐等解决方案产品